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等離子清洗机
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等離子體的産生機理及其用途

等離子體技術基于一個簡單的物理原理。如果獲得能量供應,物質的狀態將發生改變:由固態變成液態,再由液態變成氣態。如果再向氣體提供更多能量,氣體將發生電離,並進入高能的等離子狀態,這就是物質的第四種狀態。

等離子體的产生机理包括电离反应、带电粒子的传输以及电磁运动学等理论。等離子體的产生与气化过程伴随着电子、粒子和中性粒子的碰撞反应。等離子體中粒子的碰撞会产生活性组分。因为等離子體处理的目的是改性表面或在表面形成一层合成材料,因此在整个处理过程中,我们最关注的是等離子體与材料的相互作用以及形成最终反应产物。

每个等離子體处理的工艺过程都会局限在一个多维参数的腔室中,这个腔室的大小决定了整个工艺的经济性、反应质量、反应性能及其他参数,这些参数可以使处理过程具有竞争性和工业应用价值。腔室的操作受许多约束条件的限制,如处理过程受等離子體的种类及反应速率的限制,处理效率受电能转化为等離子體密度方式的限制,反应产量受处理过程中某种原材料的消耗所制约等。

在等離子體辅助制造工业中。等離子體一般具有下列用途:

(1)等離子體可以作为热源。

(2)等離子體可以作为化学催化剂

(3)等離子體可以作为高能离子流和电子流源。

(4) 可以作爲濺射粒子源。

在很多工艺中,随处可见等離子體的这几种基本特性,这就逐渐形成了以等離子體为处理手段的基础制造业。单独的某种处理过程或几种处理过程综合作用可赋予等離子體不同的用途。例如,在等離子體中,利用等離子體的化学合成作用产生新的化学药品,或利用粒子的聚合作用在表面沉积形成薄膜等。

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